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- 2023-11-08 发布于四川
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本发明的课题是提供一种方法，其能够通过不需要繁琐的工序而简易的方法、并且以高灵敏度对抗蚀剂用聚合物的溶解特性进行评价。本发明的解决手段为：根据本发明的抗蚀剂用聚合物的溶解特性的评价方法包括下述的工序(i)～(iii)：工序(i)，将抗蚀剂用聚合物溶解于溶剂而制备试验液的工序；工序(ii)，一边对前述试验液进行搅拌一边滴加溶剂，实时地测量此时的溶剂的滴加重量、和试验液的浊度的变化的工序；以及工序(iii)，算出直至前述试验液的浊度达到规定值为止的溶剂的滴加量的工序。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117015747 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202280021569.9 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所
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