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本申请提供了一种检测三维存储器结构缺陷的方法、装置、设备和存储介质。三维存储器包括堆叠结构和至少两个贯穿所述堆叠结构的共源线结构，该方法包括：对至少两个共源线结构的端面进行电子束扫描，使得具有漏电破损的共源线结构比合格的共源线结构发出更多的电子；根据端面的亮度，将端面识别为亮端面或暗端面；以及若识别出亮端面，获取亮端面对应的共源线结构在堆叠结构中的位置。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113588701 A
(43)申请公布日 2021.11.02
(21)申请号 202110822806.9
(22)申请日 2021.07.21
(71)申请人 长江存储科技有限责任公司
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