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本实用新型公开了一种低吸合电压的微镜结构，微镜结构包括：设于衬底上的锚点，和通过一端与所述锚点连接并悬设于所述衬底上的微镜镜面，以及对应设于所述微镜镜面下方的所述衬底上的寻址电极；所述微镜镜面与所述锚点一一对应设置；所述微镜镜面在来自所述寻址电极的静电驱动下，发生相对于所述衬底表面的整体倾斜，并在失去来自所述寻址电极的静电驱动时，受弹性作用发生整体回复。本实用新型能有效降低微镜的吸合电压，并可与CMOS工艺设计兼容，具有结构相对简单，成本较为低廉的优势。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 219978624 U
(45)授权公告日 2023.11.07
(21)申请号 202321493667.0
(22)申请日 2023.06.12
(73)专利权人 中国科学院上海技术物理研究所
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