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- 2023-11-08 发布于四川
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本发明公开了一种芯片加工用晶圆平整度研磨机，包括底座、竖板、伺服电机和第一转轴，所述底座的上方左右两侧均固定有竖板，且右侧的竖板外壁通过螺栓安装有伺服电机，并且伺服电机的输出端和第一转轴相连接，还包括：连接齿轮，其安装在所述第一转轴的外壁。该芯片加工用晶圆平整度研磨机，第一旋转杆和钢丝绳的一端相固定，且钢丝绳的另一端和安装块相固定，安装块的上方固定有夹板，而夹板的内表面设置有橡胶材质的抵紧块，同时钢丝绳的数量设置有多个，这样在旋转第一旋转杆时，会对钢丝绳进行收卷，从而带动安装块和夹板一起移动，通
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117001525 A
(43)申请公布日 2023.11.07
(21)申请号 202311168712.X
(22)申请日 2023.09.12
(71)申请人 广州乐柏科技有限公司
地址 51
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