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一种调平调焦机构.pdfVIP

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  • 2023-11-08 发布于四川
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一种调平调焦机构.pdf

    本发明涉及半导体设备技术领域，公开一种调平调焦机构。其中调平调焦机构的第一平台、第二平台和第三平台沿Z向由下到上依次间隔设置，第一驱动组件包括至少三个第一驱动件，第一驱动件用于驱动第二平台沿Z向运动；第二驱动组件包括至少三个第二驱动件，第二驱动件用于驱动第三平台沿Z向运动；第一解耦组件和第二解耦组件在Z向具有柔性，且在水平方向具有刚性，第一解耦组件限制第二平台相对第一平台产生沿水平方向的位移；第二解耦组件限制第三平台相对第二平台产生沿水平方向的位移;第二解耦组件的柔性板簧包括第一直径部和第二直径

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117008270 A (43)申请公布日 2023.11.07 (21)申请号 202311243977.1 (22)申请日 2023.09.26 (71)申请人 上海隐冠半导体技术有限公司 地址

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