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本发明涉及PVD镀膜装置技术领域,具体的说是一种PVD镀膜用的上料夹持工装,包括底座、移动结构、放置结构、卡位结构、底盘、转盘、驱动结构、转动结构、定位块和安装孔,通过移动结构能够实现管件的大批量的放置与取出,避免需要多次的进行管件的取出与放置,在管件放置到放置结构的过程中能够通过按压卡位结构,然后对放置结构内部放置管道的组件进行转动,当放置组件发生转动后能够避免相邻的放置组件对管件进行抵挡,从而便于管件的放置和取出,且在生产放置结构内部的放置组件时能够使相邻的两个放置组件之间的距离变短,因此能
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117026196 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202311293025.0
(22)申请日 2023.10.08
(71)申请人 泰州市长宏钛金科技有限公司
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