晶片分片装置及晶片检测方法.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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晶片分片装置及晶片检测方法.pdf

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本发明涉及一种晶片分片装置及晶片检测方法，该晶片分片装置包括：载台，载台上设有用于容纳且抵接待分片的晶片的物料区，物料区远离载台的一侧具有敞口；吸附件，用于吸附晶片并通过敞口取出分开的晶片；晶舟盒，设于载台，具有开口的容室；中转件，设于载台且朝向容室的开口设置，用于将晶片转移至容室；及，连接于载台的操纵单元，操纵单元包括操纵本体和转移组件，吸附件设于转移组件，转移组件可活动地设于操纵本体，用于将晶片转移至中转件。该晶片分片装置能够自动分片并将分开的晶片自动转移至晶舟盒的容室内，以替代人工操作。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117038548 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311291517.6 (22)申请日 2023.10.08 (71)申请人内蒙古晶环电子材料有限公司地址