一种硅电极抛光设备.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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一种硅电极抛光设备.pdf

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本发明公开了一种硅电极抛光设备，包括行星齿轮组，其中行星齿轮组包括齿圈、太阳轮以及与齿圈和太阳轮同时啮合的行星齿圈，行星齿圈上固定设有用以承载硅电极的承载件，承载件的上下两侧分别设有安装抛光布的上抛光盘以及下抛光盘，所述承载件的上下壁均设有深度小于硅电极厚度的容纳槽，所述容纳槽底壁安装有带气孔的吸盘，所述承载件上设有与吸盘气孔连通的气流通道，气流通道内安装有气阀，硅电极安装于容纳槽内时，硅电极与吸盘贴合，气流通道的气压小于外界气压，解决硅电极安装过程中从行星齿圈上掉落的问题，方便硅电极的安装，同

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117020906 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311138165.0 (22)申请日 2023.09.05 (71)申请人杭州盾源聚芯半导体科技有限公司地