单曝光多层微纳结构成像装置及方法.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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单曝光多层微纳结构成像装置及方法.pdf

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本发明提供一种单曝光多层微纳结构成像装置，包括单曝光光谱成像模块、照明系统、彩色面阵相机、控制器、运动台、压电陶瓷促动器、大色差物镜，样品放置于运动台上；彩色面阵相机、单曝光光谱成像模块和压电陶瓷促动器均连接控制器；照明光线经过样品和大色差物镜后被单曝光光谱成像模块和彩色面阵相机接收；照明系统发出照明光线具有特定的光谱波段，照射光线的光谱曲线平滑且各波长的光照强度的波动范围小于光谱曲线光照强度最大值的20％；大色差物镜的色差大于70μm，使照明光线中不同波长的光成像在样品中的不同高度层面上。本发

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117041436 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202310995750.6 G01N 21/25 (2006.01) (22)申请日 2023.08.