一种基于扫描电镜观察冷喷涂表层沉积颗粒背面形貌的装置及方法.pdfVIP

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  • 2023-11-11 发布于四川
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一种基于扫描电镜观察冷喷涂表层沉积颗粒背面形貌的装置及方法.pdf

本发明涉及一种基于扫描电镜观察冷喷涂表层沉积颗粒背面形貌的装置及方法。该装置配有可伸缩底座样品台和滑轨模块,可以满足不同大小试样的测试要求和取样位置的实时更换。在进行取样时,将固体导电胶贴于样品表面,摇动该装置一侧的手摇轮使橡胶滚轮来回滚动,使导电胶与样品表面贴合。待取样结束后,将导电胶揭下翻转并放置在扫描电镜专用载物台上,然后打开电子束观察样品形貌,同时进行EDS能谱分析。最后,通过数据处理,分析表层沉积颗粒的变形程度、结合状态以及颗粒间的结合方式。这种装置和方法可有效观察冷喷涂表层沉积颗粒背

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117030771 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202311012947.X (22)申请日 2023.08.13 (71)申请人 青海大学 地址 810016

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