一种基于协方差设计的宽谱编码阵列滤光片及其制备方法.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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一种基于协方差设计的宽谱编码阵列滤光片及其制备方法.pdf

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本发明提供一种基于协方差设计的宽谱编码阵列滤光片及其制备方法，本发明宽谱编码阵列滤光片包括基板、第一反射层、调制层和第二反射层；调制层包括多个阵列排布的调制单元，每个调制单元由若干膜堆堆叠而成，且组成同一调制单元的若干膜堆的结构各不相同。调制单元的具体结构由基于协方差的优化函数优化设计得到，从而提高了滤光区块光谱响应的非相关度和滤光片的编码效率。本发明的制备方法通过单次光刻后多次沉积形成膜堆结构，可制备介质层厚度变化范围显著增大且介质层成分可变的宽谱编码阵列滤光片，简化加工工序，可推广应用于微型

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117031606 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202310792093.5 (22)申请日 2023.06.29 (71)申请人国科大杭州高等研究院地址 31