一种用于大口径光学元件离子束加工的装调装置及方法.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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一种用于大口径光学元件离子束加工的装调装置及方法.pdf

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本发明公开一种用于大口径光学元件离子束加工的装调装置及方法，涉及光学元件加工领域，包括外部框架、多个装夹机构和边缘遮挡机构，装夹机构包括紧固调节组件和夹持组件，紧固调节组件的一端设置于外部框架的内壁上，紧固调节组件的另一端设置有夹持组件，夹持组件用于对大口径光学元件的进行夹持固定，同时配备边缘遮挡机构对大口径光学元件的待加工面的边缘进行遮挡，使得换行或折弯转向的动作在边缘遮挡机构上进行，即不在大口径光学元件上进行，避免过度加工，有效解决了大口径光学元件进行离子束加工无损脱除表面杂质过程中遮挡困难

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117024004 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202310990787.X (22)申请日 2023.08.07 (71)申请人中国工程物理研究院激光聚变研究