一种碳纳米管冷阴极微焦点X射线管.pdfVIP

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2023-11-11 发布于四川
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一种碳纳米管冷阴极微焦点X射线管.pdf

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本发明公开一种碳纳米管冷阴极微焦点X射线管，涉及真空微纳电子技术领域，包括壳体、在壳体内部由下至上依次设置的阴极电子发射部分、栅极结构、聚焦极和阳极以及在壳体上设置的射线出射窗口；其中，阴极电子发射部分、栅极结构、聚焦极、阳极和射线出射窗口的中心均在一条直线上；栅极结构采用六边形蜂窝结构，通过控制变量法改变六边形蜂窝结构中各六边形的边长、厚度及宽度，使栅极结构在正电压的作用下，与阴极电子发射部分之间形成均匀电场；聚焦极采用曲面状结构，曲面状结构与电子被聚焦时的运动轨迹相吻合。本发明结构简单且聚焦

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117038419 A (43)申请公布日 2023.11.10 (21)申请号 202310991349.5 (22)申请日 2023.08.08 (71)申请人烟台先进材料与绿色制造山东省实