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本发明公开了一种片上微波功率精密测量方法及其系统，包括检测芯片，计算模块，DC源，微波信号源、探针台和电压表，所述微波信号源的输出端和所述DC源的输出端分别与所述探针台的探针连接，所述测试芯片上设置有热电偶和共面波导线，所述测试芯片包括量热芯片和短路芯片，所述探针的输出端通过所述共面波导线与所述测试芯片的输入端连接，所述测试芯片的输出端通过所述热电偶与所述电压表的信号输入端连接，所述电压表的输出端与所述计算模块连接；本发明无需测量和修正探针的插入损耗，采用量热方式直接测量探针端口的功率，避免了测
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117031116 A
(43)申请公布日 2023.11.10
(21)申请号 202310993606.9
(22)申请日 2023.08.08
(71)申请人 中国计量科学研究院
地址 100
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