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ICS25. 040.40
N 91
中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准
GB/T32653— 2016
微机械系统加速度检波器
Microelectromechanicalsystem acceleration geophone
2016-04-25发布
2017-05-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会
发 布
GB/T 32653— 2016
目 次
前言 Ⅰ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 术语和定义 1
4 标记 2
5 要求 2
5. 1 外观 2
5. 2 环境适应性 2
5. 3 单分量 MEMS加速度检波器技术参数 3
5. 4 三分量 MEMS加速度检波器技术参数 3
6 试验方法 4
6. 1 试验条件 4
6. 2 外观检查 4
6. 3 环境适应性试验 4
6. 4 单分量 MEMS加速度检波器技术参数测试 5
6. 5 三分量 MEMS加速度检波器技术参数测试 11
7 检验规则 13
7. 1 出厂检验 13
7. 2 型式检验 13
8 标志 、包装 、运输 、贮存 14
8. 1 标志 14
8. 2 包装 14
8. 3 运输 14
8. 4 贮存 15
Ⅰ
GB/T 32653— 2016
前 言
本标准按照 GB/T1. 1— 2009给出的规则起草 。
请注意本文件的某些内容有可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任 。 本标准由中华人民共和国工业和信息化部提出 。
本标准由全国电子测量仪器标准化技术委员会(SAC/TC153)归口 。
本标准起草单位 :威海双丰电子集团有限公司 、北京大学 、哈尔滨工业大学 。
本标准主要起草人 : 田殿仓 、杨仲华 、牛德芳 、唐晓刚 、高成臣 、陈伟平 、丛方圆 。
1
GB/T32653— 2016
微机械系统加速度检波器
1 范围
本标准规定了微机械系统加速度检波器的术语和定义 、标记 、要求 、试验方法 、检验规则 、标志 、包 装 、运输 、贮存 。
本标准适用于地震勘探用微机械系统加速度检波器 。
2 规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的 。凡是注日期的引用文件 ,仅注日期的版本适用于本文 件 。凡是不注日期的引用文件 ,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件 。
GB/T191 包装储运图示标志
GB/T2829— 2002 周期检验计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验) GB/T6587— 2012 电子测量仪器通用规范
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件 。
3. 1
微机械系统加速度检波器 microelectromechanicalsystem acceleration geophone
MEMS加速度检波器
由微电子机械系统构成的 ,能检测振动加速度的地震传感器 。
3.2
三分量 MEMS加速度检波器 MEMS threecomponentsacceleration geophone
由三个 MEMS加速度检波器芯体组成 , 能接受同 一 物理点上三个不同方向振动加速度的地震传 感器 。
3.3
灵敏度温度系数 sensitivitythermalcoefficient
满量程条件下 ,MEMS加速度检波器灵敏度随单位温度的相对变化量 。
3.4
输出漂移 outputoffset
加速度为零时 ,MEMS加速度检波器的输出 。
3.5
输出漂移温度系数 offsetthermalcoefficient
单位温度变化所引起的 MEMS加速度检波器输出漂移的变化 。
3.6
失真度 distortion
特定频率的标准正弦波 ,用规定的速度驱动 MEMS加速度检波器 ,MEMS加速度检波器输出信号 谐波分量的均方根值与基波分量有效值之比的百分数 。
2
GB/T32653— 2016
3.7
绝缘电阻 isolation resistance
MEMS加速度检波器输出端与壳体之间的电阻值 。
3. 8
矢量保真度 vector fidelity
MEMS单分量加速度检波器单位加速度垂直于工作轴方向激励时 ,检波器输出电压与工作轴方 向灵敏度的比
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