太赫兹频段的金属波导加工方法.pdfVIP

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2023-11-15 发布于四川
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太赫兹频段的金属波导加工方法.pdf

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本发明涉及波导制备技术领域，提供一种太赫兹频段的金属波导加工方法，包括：在金属衬底上制备光刻胶层；对光刻胶层进行光刻加工，以在光刻胶层上形成波导侧壁模槽；在金属衬底位于波导侧壁模槽的位置制备第一金属结构；以光刻胶层的第一表面为定位基准，去除第一金属结构位于波导侧壁模槽之外的部分，得到第二金属结构；去除金属衬底上的光刻胶层；将波导顶盖与第二金属结构连接固定。本发明提供的太赫兹频段的金属波导加工方法，能够有效提升太赫兹波导管的加工精度。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117060039 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202311180677.3 (22)申请日 2023.09.13 (71)申请人太锐芯科技（青岛）有限公司地址