一种检测碳化硅晶棒内部多型的方法.pdfVIP

下载本文档

1
0
约9.46千字
约 10页
2023-11-15 发布于四川
举报
版权申诉

一种检测碳化硅晶棒内部多型的方法.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本申请公开了一种检测碳化硅晶棒内部多型的方法，属于碳化硅检测技术领域，包括以下步骤：(1)将碳化硅晶棒的头部和尾部进行切割，切割后的头片和尾片厚度为小于800μm，清洗晶棒表面、头片和尾片；(2)将头片和尾片装入花篮浸泡清洗；(3)将处理后的头片和尾片进行不同区域的电阻率测试；(4)通过函数分析，测试得到某一区域的电阻率数值记为ρm，对比同一区域测试的电阻率数值ρm与估算电阻率数值ρingot，如果ρingot‑ρm1mΩ·cm，则该区域存在多型。本申请不需要将整个晶棒切割成多片，就可以准确判

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117054486 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202311085970.1 (22)申请日 2023.08.25 (71)申请人山东天岳先进科技