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本发明涉及一种高性能薄膜材料及其制备方法，属于薄膜材料技术领域，所述薄膜材料为在基材表面向上依次沉积Cr层、CrN层和CrCN层，并以此三层交替循环沉积的多层复合结构，其制备方法采用多弧离子镀技术，在腔体真空度不高于5.0×10‑3Pa、工件转速2.0～6.0rmp的条件下进行沉积；在沉积过程中，采用高偏压及氩等离子体进行基底刻蚀清洗。本发明的一种高性能薄膜材料及其制备方法，该薄膜呈现出较高的耐腐蚀性能和较低的磨损率，可在腐蚀性介质中发挥良好的表面防护作用，提高设备的运转稳定性和服役寿命，拓宽了
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115216726 A
(43)申请公布日 2022.10.21
(21)申请号 202211018099.9
(22)申请日 2022.08.24
(71)申请人 烟台佳隆纳米产业有限公司
地址 2
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