调节机构及单晶炉.pdfVIP

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2023-11-15 发布于四川
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调节机构及单晶炉.pdf

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本发明涉及一种调节机构及单晶炉，调节机构用于单晶炉，单晶炉包括坩埚及沿竖直方向延伸的籽晶轴，调节机构包括第一架体、第二架体及提拉装置；第一架体相对于坩埚固定，第二架体沿水平方向可活动地设置于第一架体，提拉装置设置于第二架体，提拉装置用于沿竖直方向升降籽晶轴；其中，第二架体相对于第一架体活动时，提拉装置能够带动籽晶轴相对于坩埚沿水平方向活动。当第二架体相对于第一架体在水平方向上活动时，第二架体能够带动提拉装置及籽晶轴相对于第一架体及坩埚在水平方向上活动，以使得籽晶轴的轴线相对于坩埚的轴线在水平方向

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115627524 A (43)申请公布日 2023.01.20 (21)申请号 202211308148.2 (22)申请日 2022.10.25 (71)申请人浙江晶盛机电股份有限公司地址 3