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本发明公开了一种碳化硅外延片高温取片设备，涉及碳化硅外延片加工领域，解决了现有通过抽吸管负压取片时稳定性差的问题，包括密封气筒和固定连通于密封气筒侧边的气管，密封气筒的外侧套接有用于与移动装置连接的安装套架，密封气筒的底部设有碳化硅外延片，密封气筒的内部安装有延伸筒，本发明通过缓冲机构和封闭机构的配合，其气管在真空抽吸泵的作用下持续的抽吸，在密封气筒与碳化硅外延片之间的封闭空间的气体受热膨胀时，气管又可对膨胀后的封闭空间抽吸，使其封闭空间再次处于低压状态，便可保证密封气筒和碳化硅外延片之间气压的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115627533 A
(43)申请公布日 2023.01.20
(21)申请号 202211353234.5
(22)申请日 2022.11.01
(71)申请人 江苏汉印机电科技股份有限公司
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