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本发明公开了一种碳化硅外延化学气相沉积系统高温水循环冷却机构，涉及水循环冷却技术领域，解决了化学气相沉积反应箱内冷却效率低的问题，包括安装于反应箱内壁的四个石墨管，石墨管为弯曲形状，且两端均固定贯穿反应箱底部，滑动插接于反应箱底部的支撑管，支撑管的顶部固定载台，且支撑管的外侧安装有与反应箱底部内壁固定的加热板，本发明通过优化现有反应箱，在其内壁安装石墨管，并在其底部设计流速调节装置能够对其内部气压进行调节，能够缓冲冷却水进入后蒸发产生的较大的气压，同时配合转动组件带动缓冲管内活塞板的主动移动，从
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115652418 A
(43)申请公布日 2023.01.31
(21)申请号 202211265499.X
(22)申请日 2022.10.17
(71)申请人 江苏汉印机电科技股
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