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MEMS薄膜材料参数提取与管理系统研究的中期报告 本文介绍了一种MEMS薄膜材料参数提取与管理系统，并提出了该系统的中期报告。 该系统旨在提取和管理MEMS薄膜材料的参数，包括厚度、硬度、弹性模量等。这些参数是制造MEMS器件的关键因素，因此对于提高器件的性能至关重要。 在该系统中，使用了多种不同的技术来提取参数，包括扫描电子显微镜（SEM）观察样品表面形貌、原子力显微镜（AFM）测量薄膜表面的粗糙度和厚度、纳米压痕仪（nanoindentation）测量薄膜的硬度和弹性模量等。 该系统还包括一个参数管理模块，用于存储和管理提取的参数。这个模块可以帮助用户快速和方便地访问和使用这些参数，并进行必要的分析和比较。 在该系统的中期报告中，我们已经成功地开发出了一个原型系统，并进行了一系列的测试和验证。我们发现，使用这个系统可以有效地提取和管理MEMS薄膜材料的参数，并帮助我们更好地理解薄膜的特性和性能。 未来我们将继续完善该系统，进一步优化参数提取和管理的方法，并提高系统的稳定性和可靠性，以满足更广泛的需求和应用。