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本发明涉及一种研磨装置，包括相对设置的上研磨盘和下研磨盘，下研磨盘具有研磨腔，研磨腔的中心设置有中心轮，研磨腔的内侧壁设置有齿形成第一齿圈，第一齿圈和中心轮之间设置有多个游星轮，游星轮上设置有多个用于容纳待研磨硅片的容纳腔，研磨装置还包括多个与游星轮一一对应的驱动电机，驱动电机通过传动轴与游星轮的中心的中心孔传动连接，以控制相应的游星轮旋转，上研磨盘上设置有环形通孔以供传动轴穿过；研磨装置还包括位于上研磨盘远离下研磨盘的一侧的驱动结构，用于控制多个驱动电机沿着环形通孔的周向方向旋转，以使得对应的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115026663 A
(43)申请公布日 2022.09.09
(21)申请号 202210770838.3 B24B 41/06 (2012.01)
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