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本发明涉及一种基于单发太赫兹时域光谱技术的材料厚度在线监测装置及方法,属于光学技术领域,本发明通过控制主光路阀门开闭,实时采集受太赫兹波调制前后的探测激光脉冲光谱信号,计算两者差值并转化为太赫兹时域信号,再将因太赫兹波透过材料后的探测光光谱的移动数据转化为材料厚度数据,同时将探测光光谱的波动变化转化为材料厚度的波动变化数据进行实时显示,实现对材料厚度的实时在线无损测量和对厚度变化的实时监测。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117073549 A
(43)申请公布日 2023.11.17
(21)申请号 202311192531.0
(22)申请日 2023.09.15
(71)申请人 中国科学院重庆绿色智能技术研究
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