固态前驱体的纯化系统及纯化方法.pdfVIP

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2023-11-18 发布于四川
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固态前驱体的纯化系统及纯化方法.pdf

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本发明公开了一种固态前驱体的纯化系统及纯化方法，其中该纯化系统包括：依次连通的第一手套箱、升华仪及第二手套箱；第一手套箱包括第一进料口和第一出料口，第二手套箱包括第二进料口和第二出料口，升华仪包括第三进料口和第三出料口，第一出料口与第三进料口相连通，第三出料口与第二进料口相连通，第三进料口和第三出料口之间设有升华腔，升华仪还包括若干设于升华腔外部的加热单元。本发明提供了全封闭的无水无氧操作环境，减少外界杂质的干扰，保护操作人员的安全，通过精确控制的加热单元的加热温度及体系的真空度，实现对不同沸点

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117065388 A (43)申请公布日 2023.11.17 (21)申请号 202311196124.7 (22)申请日 2023.09.15 (71)申请人江苏南大光电材料股份有限公司地址