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本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种温控系统的控制方法、控制系统及温控系统，温控系统的控制方法包括：获取温控系统由运行状态进入停机状态的指令；确定温控系统未发出报警信息或温控系统发出的报警信息允许压缩机继续运行；关闭连接于蒸发器的吸热通路与冷凝器的放热通路之间的冷媒管上的阀体，停止循环装置的运行；保持压缩机的运行状态，开启连接于压缩机的出口与蒸发器的吸热通路之间的冷媒管上的电子膨胀阀至全开；停止压缩机的运行，保持电子膨胀阀的开启状态；关闭电子膨胀阀。通过控制温控系统进入停机状态后压缩机与电
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 115167558 A
(43)申请公布日 2022.10.11
(21)申请号 202210725910.0
(22)申请日 2022.06.23
(71)申请人 北京京仪自动化装备技术股份有限
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