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SU-8微纳米流体通道制作方法研究的中期报告 中期报告：SU-8微纳米流体通道制作方法研究 一、研究背景 微纳米流体学作为一门新兴交叉学科，正在受到广泛的关注和研究。而微纳米流体通道是微纳米流体学中最为常见的结构之一，其应用涵盖了生物医学、环保、化学分析等多个领域。 然而，微纳米流体通道的制备一直以来都是一个困难而耗时的过程。常见的制备方法有：光刻、电子束曝光、微影、3D打印等。但这些方法存在着设备价格昂贵、操作复杂、制备周期长等缺点。因此，新的制备方法研究有着非常重要的意义。 二、研究内容 本研究以SU-8作为制备微纳米流体通道的材料，采用光水解法进行制备，并探究了不同参数对流道的影响。 1. 实验原理 光水解法：将SU-8涂覆于基板上，然后用紫外光照射样品，通过紫外光的电磁能激发SU-8中的光敏剂，从而使得材料水解产生酸，酸催化SU-8溶胶凝固。 2. 实验步骤 （1）基板表面处理：清洗基板表面，使其表面光滑，去除基板表面的杂质。 （2）涂覆SU-8材料：将准备好的SU-8材料均匀涂覆在基板上。 （3）软烤程序：将涂覆好的基板放到烘箱中软烤2-3分钟，使得SU-8材料中的溶剂挥发。 （4）曝光程序：在SU-8层上放置掩模，然后进行曝光。 （5）硬烤程序：将样品放到烘箱中硬烤，使得SU-8材料中的酸水解出来，形成微纳米流体通道。 3. 实验结果 通过改变不同参数对SU-8材料进行