T_CASAS 027-2023 射频GaN HEMT外延片二维电子气迁移率非接触霍尔测量.docxVIP

ICS 31.080 CCS L 40/49 团 体 标 准 T/CASAS 027—2023 射频 GaN HEMT 外延片二维电子气迁移率非接触霍尔测量方法 Two—dimensional electron gas mobility of RF GaN HEMT epitaxial wafers—Non—contact Hall measurement method 版本：V01.00 2023-06-30 发布 2023-07-01 实施 第三代半导体产业技术创新战略联盟 发布 目 次 前言 III 引言 IV 范围 1 规范性引用文件 1 术语和定义 1 符号 1 测试原理 2 精密度 3 试验条件 3 干扰因素 3 仪器设备 3 测试样品 4 测试程序 4 系统自校准 4 测试步骤 4 测试点位 4 试验报告 5 附录A （资料性） 测试报告示例 6 的规 ASAS 任何 苏州能讯高能半导体有限公 司、北京第三代半导体产业技术创新战略联盟。 通讯 本文件主要起草人：魏学成、刘波亭、杨学林、刘建利、宋学峰、Roger Luo、裴轶、徐瑞鹏。 引 言 随着 5G 移动通讯技术的快速发展，基于氮化镓材料的功放模块已广泛应用于 5G 基站中用来提升系统性能。氮化镓基异质结构是氮化镓高电子迁移率晶体管的基本外延结构，在氮化镓异质结界面因极化而产生二维电子气，其迁移率是射频氮化镓器件的核心指标项，决定着氮化镓器件的性能。因此准确测试和真实反映射频氮化镓异质结构外延片的二维电子气迁移率，成为衡量该外延片和对应器件性能的重要指标；基于此，制定射频氮化镓异质结构外延片二维电子气迁移率的非接触霍尔测量方法及规范，真实反映和量测二维电子气的迁移率，对研发、生产过程中外延片的性能评估和监控等具有指导意义。 范围 本文件描述了射频 GaN 高电子迁移率晶体管(HEMT)外延片的二维电子气迁移率非接触 Hall 测量方法的测试原理、干扰因素、测试程序和试验报告。 本文件适用于半绝缘衬底上的 GaN HEMT 外延片二维电子气迁移率测量，其迁移率测量范围在 100 cm2?V?s～20000 cm2?V?s。该方法同样适用于其他材料体系的类似结构（例如 GaAs、InP HEMT 结构） 外延片的二维电子气迁移率测量，衬底材料的导电性应为半绝缘。 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件， 仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB/T 4326—2006 非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 符号 下列符号适用于本文件。 ??：磁场强度。h：样品厚度。 ??：微波反射率。 ????：霍尔系数。 ????：样品方阻。 TE10：电磁波波型指数为 1,0 的横电模，是入射波的偏振微波。 TE11：电磁波波型指数为 1,1 的横电模，是霍尔效应引起的于入射波正交的偏振微波。 ??0：波导特征阻抗。 ????：样品阻抗。 μ：载流子迁移率。σ：电导张量。 测试原理 非接触霍尔测量是一种利用微波原理来测量半导体材料载流子迁移率的方法。该方法是使用一个固定频率的微波源，通过特定的波导网络，将微波能量传导至测试样品表面。该波导网络的设计可以使得微波的TE10和TE11的传播模式都能够被传输和测量。垂直入射到样品表面的TE10模的微波，会从测试样品表面处产生两种模式的反射波，如图1所示，一种是和入射波相同模式和极性的TE10反射波，通过探测在无外界磁场的条件下的反射回来的TE10波的功率并结合波导系统的整体阻抗来计算测试样品的方块电阻；另外一种反射波是TE11模式的波，它是TE10波到达样品表面时，由于样品在磁场作用下的霍尔效应将TE10模旋转90°以TE11模的波返回，通过探测此TE11模微波的功率，可计算出测试样品的载流子迁移率。 非接触霍尔测量系统探测到不同模式的微波得到迁移率的计算原理如下，当TE10模微波传输至样品表面时，在磁场作用下，样品的霍尔效应使电导张量发生偏转，TE10极化方向的电导张量为σxx，TE11 极化方向的电导张量为σxy。 ???????????? = ???????(??2 + ??2 ) ·································································· (1) ???? ???? ?? = ? 1 | ?????? |····································································· (2) ?? ?? ??