一种硅基OLED显示器件制备方法.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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本发明公开了一种堆叠微显示器结构及其制作工艺,其特征在于:包括基板,所述基板的正面设有像素电路,所述基本背面设有驱动电路;制作工艺:步骤1)准备基板;步骤2)基板背面朝上,在基板背面上制备驱动电路层;步骤3)将基板翻转,驱动电路层贴附到载片;步骤4)在基板正面制备像素电路层;步骤5)制备导通孔;步骤6)制备互连件;步骤7)制备阳极电极;步骤8)制备发光层和阴极;制备封装层。本发明堆叠微显示器结构及其制作工艺,集成兼容性好,面积小,良率高,成本低具有较强的实用性和较好的应用前景。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117098435 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202311066984.9 H10K 59/80 (2023.01)

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