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半球谐振子曲面膜层均匀性测试工装及方法.pdfVIP

半球谐振子曲面膜层均匀性测试工装及方法.pdf

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    本发明公开了一种半球谐振子曲面膜层均匀性测试工装及方法，所述测试工装内部尺寸与谐振子半球内球面尺寸相同，内表面设有若干列卡槽，且各卡槽间夹角均等，每列卡槽从球体唇缘贯穿至球顶，槽宽和槽高分别与贴片的宽度和厚度相等，每列卡槽设置相同个数的贴片定位槽用于安放贴片，每个卡槽中贴片定位槽以相同方式标号，标号相同的贴片定位槽与球体中心轴间的距离完全相等。本发明有效解决了类似半球谐振子的异形结构内部膜层厚度测量难度大的问题，为膜层均匀性提升提供了基础表征手段。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117091549 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202311153304.7 (22)申请日 2023.09.07 (71)申请人 北京自动化控制设备研究所 地址

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