原创力文档- 1
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- 2023-11-22 发布于四川
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本发明涉及对材料的显微技术领域，一种原子束显微装置，包括储气罐、气管、由腔体I和腔体II连接成的真空腔体、喷射头、分流器、气体透射窗片、原子衍射片、原子衍射片通孔种类I、原子衍射片通孔种类II、原子衍射片通孔种类III、探测器I、样品、样品台、计算机、探测器II、抽气口I、真空泵组I、抽气口II、真空泵组II，本发明原子衍射片采用一系列通孔代替波带片的环状结构，所述通孔比标准的菲涅尔波带片的无支撑的环结构更易于加工，并通过选择合适的通孔直径和通孔分布，优化了原子束流的聚焦效果，能够得到锐利的聚焦
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 108508047 A
(43)申请公布日
2018.09.07
(21)申请号 20181
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