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基于二维PSD的扫描镜测试系统及方法.pdfVIP

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  • 2023-11-22 发布于四川
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基于二维PSD的扫描镜测试系统及方法.pdf

    本申请涉及微电机系统技术领域，特别涉及一种基于二维PSD的扫描镜测试系统及方法，其中，系统包括：待测扫描镜；输入组件，用于输入光束和驱动信号给待测扫描镜；二维位置传感器PSD，用于记录待测扫描镜扫描时的电压信号；采集模块，用于采集二维PSD检测到的电压信号；上位机，用于控制输入组件输入光束和驱动信号给待测扫描镜，利用驱动信号驱动待测扫描镜转动，待测扫描镜将光束反射至二维PSD，解析电压信号得到待测扫描镜扫描产生的图案数据，并根据图案数据计算待测扫描镜的关键参数。由此，解决了相关技术中对扫描镜测试

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117091805 A (43)申请公布日 2023.11.21 (21)申请号 202311083129.9 (22)申请日 2023.08.25 (66)本国优先权数据

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