氧化镍薄膜的制备、改性及其电致变色性能研究的中期报告.docxVIP

氧化镍薄膜的制备、改性及其电致变色性能研究的中期报告 本研究的目的是制备氧化镍薄膜，探究其电致变色性能以及在改性过程中对变色性能的影响。本文主要介绍实验方法和初步结果。 实验方法： 1. 制备氧化镍薄膜：采用射频磁控溅射法，在玻璃基片上制备氧化镍薄膜。不同溅射时间、气压和功率的条件下，制备不同的膜厚和结构的氧化镍薄膜。 2. 改性处理：采用离子注入和热处理两种方法对氧化镍薄膜进行改性处理。离子注入条件为：注入能量为1000 eV，注入量为1×1016 cm-2，注入离子为氧离子。热处理条件为：将氧化镍薄膜放入高温炉中，在氮气气氛下进行热处理，热处理温度为400 ℃，保持时间为1小时。 3. 测试电致变色性能：使用可见光分光光度计对氧化镍薄膜在紫外光、蓝光和绿光条件下的透过率进行测试。 初步结果： 1. 制备的氧化镍薄膜厚度在20~70 nm之间，呈现不同的晶体结构。 2. 离子注入和热处理后，氧化镍薄膜的晶体结构发生改变，形成更为规则的晶须结构。 3. 在紫外光、蓝光和绿光条件下，氧化镍薄膜的透过率随着电压的施加而发生明显的变化。其中，在400 nm波长下，氧化镍薄膜的透过率变化最为显著。 4. 在经过离子注入和热处理的氧化镍薄膜中，电致变色性能增强，且响应时间更短。其中，离子注入处理后的氧化镍薄膜的响应时间最短，为2 ms。 结论： 通过射频磁控溅射制备氧化镍薄膜，并经过离子注入