现代测试技术课件：微机械传感器.pptVIP

微机械传感器 【学习目标】 明确微机械传感器的概念、特点，掌握微机械加速度传感器、微机械压力传感器、微机械陀螺等微传感器的结构及作用原理。在信号测试中，能够根据实际情况，学会选择与使用微机械传感器。 【学习要求】 理解微机械传感器的概念、特点，熟练掌握微机械加速度传感器、微机械压力传感器、微机械陀螺的设计结构、特性及作用原理，了解微流量传感器、微气体传感器、微温度传感器的工作特性，并对微机械加工技术有一些认识。 微机械传感器是微机电系统的关键要素之一，它的敏感机理与常规传感器一样，知识其敏感元件的尺寸微小，一般是μm级。微传感器的整体尺寸也在mm以下，由微机械加工技术制造而成。常规传感器主要采用金属材料制作，而微传感器则优先采用硅材料制作。如今传感器已经从以金属材料为主的常规传感器时代进入以硅材料为主的微传感器时代。 与传统的传感器相比，它具有体积小、重量轻、成本低、功耗低、可靠性高、适于批量化生产、易于集成和实现智能化的特点。同时，在微米量级的特征尺寸使得它可以完成某些传统机械传感器所不能实现的功能。 3.1 微机械传感器的概念及特点 3.2 微机电系统的主要加工技术 微机电系统（Microelectro Mechanical Systems,MEMS）是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿研究领域,经过几十年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一,它涉及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有广阔的应用前景。目前，全世界有大约６００余家单位从事ＭＥＭＳ的研制和生产工作，已研制出包括微型压力传感器、加速度传感器、微喷墨打印头、数字微镜显示器在内的几百种产品，其中微传感器占相当大的比例。 随着微机电系统的发展，微型制造技术作为实现mems技术的关键也开始引起世界发达国家的材料科学工作者和工业界的极大关注。要想加工出精密的微机电器件，必须要具备相应微细加工技术。 目前，常用的有以下方法： (1) 光刻术(photolithography) 图3.2 微机械光刻加工仪器实物照片 (2)蚀刻技术 刻蚀技术又分为以下几种。 ① 化学异向蚀刻 ② 离子束蚀刻 ③ 激光蚀刻 图3.3 化学腐蚀加工仪 (3)LIGA技术 (4)牺牲层技术 (5)外延技术 (6) 特种微细加工技术 (7)分子装配技术 (Molecular Assemblage) (8) 集成机构(Integrated Mechanism)制造技术 3.3 微机械传感器原理 3.3.1 微机械加速度传感器 微机械加速度传感器（如图3.4）的种类很多,发展也很快,目前微机电加速度传感器的工作原理主要有压阻式、电容式、压电式、力平衡式、微机械热对流式和微机械谐振式等。 1.压阻式微机械加速度传感器 压阻式传感器（如图3.5）是利用硅材料的压阻效应制作的传感器,它的工作原理是将被测的加速度转换为硅材料电阻率的变化来进行加速度的测量。 比较典型的产品是美国EG G IC SENSORRS公司生产的微机械加速度传感器,其基本结构形式如图3.6 所示,这是一种双悬臂梁结构的传感器。 1 插座；2传感器；3 连杆（可拆装）；4 限动螺钉；5 支座；6 被测构件 图3.5 压阻式加速度传感器 图3.6　 双悬臂梁结构传感器工作原理示意图 2.电容式加速度传感器 电容式加速度传感器（如图3.7）是利用电容原理,将被测加速度转换成电容的变化来进行加速度测量。电容式加速度传感器的灵敏度比较高,易于构成高精度的力平衡式器件,目前国外已有高性能的器件出现。 图3.7 电容式加速度传感器 电容式传感器的特点:灵敏度和测量精度高;稳定性好;温度漂移小;功耗极低;良好的过载保护能力;便于利用静电力进行自检。其缺点是:由于传感器的电容量和其变化量极小,同时为减小分布电容的影响,其调理电路必须与传感器集成在一块芯片上。 图3.8给出了两种结构形式的微机械电容式加速度传感器。 图3.8 微机械电容式加速度传感器 3.力平衡式微机械加速度传感器 力平衡式微机械加速度传感器是在电容式加速度传感器的基础上发展而来的,它的原理如图3.9所示,将以悬臂梁支撑的惯性质量块作为动极板,在动极板的上下分别有一个定极板,与动极板构成两个电容。 图3.9 力平衡式微机械加速度传感器 4.微机械热对流加速度传感器 热对流加速度传感器是一种新型的加速度传感器,图3.10 是微机械热对流加速度传感器作用原理的示意图。 在悬臂梁的端部有一扩散加热电阻,加热电阻通电后所产生的热量全部沿梁和上下两个散热板传递,而向上下两个散热板传导