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本申请涉及光刻胶及制备方法，具体涉及一种KrF光刻胶树脂及KrF光刻胶的制备工艺。树脂成分包括对乙酰氧基苯乙烯、对叔丁氧基苯乙烯、苯乙烯和甲基丙烯酸叔丁酯。将前述单体混合物高温条件下经引发剂偶氮二异丁腈引发聚合，生成乙酸酯共聚物；乙酸酯共聚物在甲醇水溶液中经三乙胺催化脱保护，生成产品聚合物，再经丙二醇单甲醚乙酸酯稀释，得到KrF光刻胶树脂。KrF光刻胶包括KrF光刻胶树脂、酸扩散抑制剂、光致酸产生剂和有机溶剂。将KrF光刻胶树脂、酸扩散抑制剂、光致酸产生剂和有机溶剂按配比混合，搅拌，进行避光物理
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117106123 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311105574.0
(22)申请日 2023.08.30
(71)申请人 常州化工设计院有
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