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基板固定装置.pdfVIP

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  • 2023-11-25 发布于四川
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基板固定装置.pdf

    根据本实用新型一实施例的基板固定装置包括：支撑台，利用设置在上表面的吸附部来吸附和固定基板，以及负压生成装置，对所述吸附部形成负压；所述支撑台可以包括以贯通所述支撑台的方式使所述吸附部与所述负压生成装置连通的负压通道。

    (19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220086011 U (45)授权公告日 2023.11.24 (21)申请号 202320619514.X (22)申请日 2023.03.27 (30)优先权数据 10-2022-0040293

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