原创力文档- 3
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- 2023-11-25 发布于四川
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本发明提供了一种不破坏组件结构的光伏组件短路返修设备，包括气体反应模块、晶体生长模块、氧气储气瓶以及发生器。气体反应模块通过第一加热装置对Ge和GeO2粉末加热在反应腔体中预先生成GeO气体，以气态形式通入晶体生长模块内。晶体生长模块通过第二加热装置加热生长腔体内的衬底，GeO在其中被O2/O3混合气体或O等离子体氧化，在被加热的衬底上外延沉积，生成r‑GeO2单晶。通过在气体反应模块的反应腔体中预先生成气态的GeO，将其导入晶体生长模块的生长腔体中，再被氧化生成r‑GeO2单晶。利用Ge和Ge
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117107346 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202210535049.1
(22)申请日 2022.05.17
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
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