一种大尺寸石英衬套管制备方法.pdfVIP

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2023-11-25 发布于四川
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一种大尺寸石英衬套管制备方法.pdf

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本申请涉及一种大尺寸石英衬套管制备方法，由于中空玻璃基管和内部的实心碳棒形成靶棒组件，使得在中空玻璃基管外沉积形成二氧化硅疏松体时，中空玻璃基管和内部的实心碳棒进行内部支撑，可以克服重力变形导致二氧化硅疏松体尺寸受限问题，可以制得尺寸更大的疏松体；另外在预处理和真空烧结阶段，由于抽出了实心芯棒，中空玻璃基管和其外的二氧化硅疏松体形成的结构，在后续无需再进行中心掏孔、衍磨等复杂加工，使得工艺简化。再者最终形成的石英衬套管毛坯，在后续工序中只需要简单研磨加工直接制得套管先端，同时由于不需要中心掏孔和

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117105519 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311151139.1 (22)申请日 2023.09.07 (71)申请人武汉烽火锐拓科技有限公司地址