一种前光背光耦合测试系统.pdfVIP

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2023-11-25 发布于四川
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一种前光背光耦合测试系统.pdf

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本发明提供一种前光背光耦合测试系统，涉及芯片检测技术领域，中转放料模组用于放置芯片夹具，芯片夹具上定位放置若干芯片；取料转移模组从芯片夹具上取出待检测的芯片放到测量载台，利用探针加电模组对待检测的芯片接触供电，两组耦合检测装置分别对待检测的芯片进行前光检测和背光检测，在分别进行前光检测和背光检测过程中，通过第一移动台沿第一维度调节位置，第二移动台沿第二维度调节位置，测量载台沿第三维度调节角度；使待检测的芯片分别供两组耦合检测装置进行检测，在一个检测过程中完成前光检测与背光检测，提升光芯片的前光和

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117110840 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311161664.1 (22)申请日 2023.09.11 (71)申请人上海菲莱测试技术有限公司地址