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- 2023-11-25 发布于四川
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本申请提供一种光刻机中的光束检测装置，包括检测结构，检测结构活动连接于光路管路内，光路管路具有相对设置的入口和出口，检测结构具有通孔、反射镜和检测槽，反射镜与通孔在第一方向上不重叠，检测槽暴露反射镜，光束射入反射镜时与反射镜之间的夹角为45；当光刻机正常生产时，驱动通孔与入口以及出口对应设置，光束经通孔穿过检测结构；当光刻机检测光束时，驱动反射镜与入口以及出口对应设置，以使经入口射入的光束照射至反射镜，并经反射镜反射至检测槽，以检测光束的位置，以提高光束位置的检测效率。
(19)国家知识产权局
(12)实用新型专利
(10)授权公告号 CN 220085237 U
(45)授权公告日 2023.11.24
(21)申请号 202321002687.3
(22)申请日 2023.04.27
(73)专利权人 粤芯半导体技术股份有限公司
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