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本发明公开的一种用于刻蚀腔的封闭式控制装置及其刻蚀机,包括真空刻蚀箱、射频源组件、下电极组件和腔壁密封环,在真空刻蚀箱的中心刻蚀腔对应的侧壁上开设进出气通道口和物料进出通道口;射频源组件安装于刻蚀腔上侧对应的真空刻蚀箱顶侧;下电极组件安装于刻蚀腔下侧对应的真空刻蚀箱底侧,射频源组件与下电极组件正对应设置、且两者之间形成对半导体器件加工的刻蚀工作区;腔壁密封环周向对称的围拢于射频源组件与下电极组件之间刻蚀工作区外围,并在动力驱动组件驱动下上下升降运动的封闭和打开刻蚀腔外围的进出气通道口和物料进出通
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117116734 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311133708.X
(22)申请日 2023.09.04
(71)申请人 珠海恒格微电子装备有限公司
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