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本申请涉及一种湿法处理设备及方法，其中的湿法处理设备包括：上料台，用于承接容纳晶圆的载具；槽体，用于盛放能够湿润晶圆的液体；驱动机构；驱动机构与上料台连接，在驱动机构的带动下，上料台承接载具时至少具有：第一状态，上料台承接的载具位于槽体内液面以上；第二状态，上料台承接的载具位于槽体内液面以下，且载具内的晶圆相对于竖直方向倾斜放置。本发明采用能够统一晶圆倾斜方向的上料台和驱动机构，使装载的晶圆在液体中不会因浮力影响而造成朝向改变，因此不影响后续机械对其识别或抓取，便于机械手准确抓取晶圆，减少机械手
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117116807 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202311093524.5
(22)申请日 2023.08.29
(71)申请人 江苏芯梦半导体设备有限公司
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