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本申请提供一种芯片外观检测装置、芯片及芯片外观检测方法。检测装置包括：芯片装夹部件和第一光学检测器，第一光学检测器设置在芯片装夹部件的一侧，用于在第一位置对芯片装夹部件上的芯片进行外观检测；芯片装夹部件包括：旋转盘、定位齿和固定架；旋转盘用于传输芯片至与第一位置对应的第二位置以使第一光学检测器对芯片进行外观检测，旋转盘沿周向均匀设有定位齿，定位齿朝向固定架的侧面均设有遮光部，遮光部用于遮挡透射过芯片的光线；相邻的定位齿之间设有沿旋转盘的周向转动连接的固定架以及供固定架转动至遮光部的转动空间，固定
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117110292 A
(43)申请公布日 2023.11.24
(21)申请号 202310961246.4
(22)申请日 2023.08.01
(71)申请人 海宁集成电路与先进制造研究院
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