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气浮台.pdfVIP

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  • 2023-11-25 发布于四川
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气浮台.pdf

    本发明提供了一种气浮台，气浮台包括导向结构、移动结构和多个水平气浮组件。导向结构的至少部分沿第一方向延伸；导向结构穿设移动结构，移动结构可相对导向结构移动；多个水平气浮组件分别设置在导向结构两侧，导向结构水平两侧形成气浮导轨面，水平气浮组件的气浮垫的出气部向气浮导轨面设置。水平气浮组件包括摆动部件，摆动部件的一端与移动结构连接，另一端与气浮垫连接；摆动部件包括至少部分沿预设方向延伸的连接结构，摆动部件的一端与另一端通过连接结构连接且能绕连接结构相互摆动，摆动部件在绕竖直方向上具有刚度，刚度小于气

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117108633 A (43)申请公布日 2023.11.24 (21)申请号 202311373827.2 (22)申请日 2023.10.23 (71)申请人 上海隐冠半导体技术有限公司 地址

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