《氧化铟锌靶材》规范.docx

1 YS/T ××××—×××× 氧化铟锌靶材 1 范围 本文件规定了氧化铟锌靶材的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存及随行文 件和订货单内容。 本文件适用于以氧化铟粉末、氧化锌粉末为原料，以常压烧结工艺生产的氧化铟锌靶材。 2 规范性引用文件 下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件的必不可少的条款。其中，注日期的引用文 件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用 于本文件。 GB/T 351 金属材料电阻系数测量方法 GB/T 3850 致密烧结金属材料与硬质合金密度测定方法 GB/T 8170 数值修约规则与极限数值的表示和判断 3 术语和定义 本文件没有需要界定的术语和定义。 4 技术要求 4.1 化学成分 4.1.1 产品的主要成分质量百分比为 In2O3 : ZnO = 90: 10，偏差为±0.5。 4.1.2 产品的杂质成分应符合表 1 的规定。需方如对产品的化学成分有特殊要求时，由供需双方商定。 表1 杂质成分 杂质含量，不大于 （质量分数）% Fe Al Si Ca Mg Cu Pb Ni Cd 0.0025 0.0010 0.0025 0.0015 0.0005 0.0005 0.0005 0.0005 0.0005 4.2 物理性能 4.2.1