原创力文档- 3
- 0
- 约3.93万字
- 约 37页
- 2023-11-29 发布于四川
- 举报
本发明提供一种在该基片上层叠地形成多个图案的基片处理方法、计算机存储介质和基片处理系统。对于层叠在基片上的两层以上的图案的相关性，基于上层图案的EPE、下层图案的EPE和两层图案的套刻精度，来计算作为该两层图案间的错位量的IPFE。在计算出的IPFE超过规定的阈值(IPFE预测值)的情况下，修正规定处理中的处理条件，使得该IPFE小于规定的阈值。由此，在基片上层叠地形成多个图案时，能够使该多个图案适当化。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 109390219 A
(43)申请公布日
2019.02.26
(21)申请号 20181
您可能关注的文档
- 一种控制棒驱动机构电磁线圈组件及该组件的制造方法.pdf
- 托举投放装置、物体拾取与回旋堆叠机器人及搬运方法.pdf
- 一种双转盘上料装置.pdf
- 一种球面棱镜的球面法线角度快速测量装置.pdf
- 一种内心轮检测生产线用传递机构.pdf
- 一种互投开关专用一体化真空灭弧室.pdf
- 一种可手动自动调整的精密调整机构.pdf
- 全自动珍珠棉冲压进料出料加工系统.pdf
- 一种双层衬砌盾构隧道变形缝结构及盾构隧道.pdf
- 光模块老化测试上下料装置.pdf
- 4、回填施工记录表.XLS
- 2、原材料、构配件进场使用检查记录表.xls
- 1、CK0+600~ CK0+700 水泥混凝土面层.XLS
- 1、CK0+000~CK0+200 AC-20C下面层（下洒透层油）.XLS
- 1、工程材料进场使用清单.xls
- 2、4%水泥稳定石屑下基层（CK0+200~CK0+400）200米为一检验批（报验表）.XLS
- 1、4%水泥稳定石屑下基层（CK0+000~CK0+200）200米为一检验批（报验表）.XLS
- 5、CK0+800~ CK0+860左侧路缘石_重命名_2017-1-17-11-35-12.XLS
- 2、CK0+700~ CK0+860 水泥混凝土面层.XLS
- 022、CK0+200~CK0+400 AC-13C上面层（下洒粘层油）.XLS
文档评论（0）