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- 2023-11-29 发布于四川
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本申请公开了一种薄膜厚度检测方法、计算机及系统，涉及光学薄膜厚度测量技术领域，方法包括：通过获取光源的波长范围以及薄膜样品的折射率函数得到所有仿真反射光谱曲线和所有仿真反射光谱曲线的零点；采集实测反射光谱，并将实测反射光谱进行分解得到实测反射光谱Imf2分量的所有零点；根据评价函数获取所有仿真反射光谱曲线的零点中与实测反射光谱Imf2分量的所有零点差异最小的一组，并得到薄膜样品的实测厚度；获取CCD相机采集到的干涉图中的条纹个数；根据厚度校正公式校正薄膜样品的实测厚度，得到最终厚度。本申请提供的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 117128877 A
(43)申请公布日 2023.11.28
(21)申请号 202311394444.3
(22)申请日 2023.10.26
(71)申请人 法博思（宁波）半导体设备有限公司
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