一种微机械堆叠结构和连杆结构.pdfVIP

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2023-11-29 发布于四川
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一种微机械堆叠结构和连杆结构.pdf

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本实用新型涉及一种微机械堆叠结构和连杆结构；所述堆叠结构包括上结构层、下结构层和中间膜层；中间膜层沉积在下结构层上，刻蚀形成环形凹槽，沉积上结构层，凹槽内形成接触通道，图形化上结构层，释放接触通道外侧的中间膜层。所述连杆结构至少包括一个第一堆叠结构；所述第一堆叠结构包括上结构层、下结构层和中间膜层；中间膜层沉积在下结构层上，刻蚀形成环形凹槽，沉积上结构层，凹槽内形成接触通道，图形化上结构层，释放接触通道外侧的中间膜层。所述连杆结构还包括第一堆叠结构、第二堆叠结构、柱体或/和传统结构；第二堆叠结构

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220098566 U (45)授权公告日 2023.11.28 (21)申请号 202221557310.X (22)申请日 2022.06.21 (73)专利权人无锡韦感半导体