磁控溅射制备氮化钛及其复合薄膜材料的耐腐蚀性研究的开题报告.docxVIP

磁控溅射制备氮化钛及其复合薄膜材料的耐腐蚀性研究的开题报告 一、选题背景 氮化钛被广泛应用于电池、太阳能电池、电子器件以及防腐、耐磨等领域。常见的制备氮化钛的方式有物理蒸发、化学气相沉积、磁控溅射等方法，其中磁控溅射具有制备高质量氮化钛薄膜的优势。 然而，在实际应用中，氮化钛薄膜的耐腐蚀性成为制约其应用的一个重要因素。因此，研究氮化钛及其复合薄膜材料的耐腐蚀性，对于提高氮化钛薄膜的应用价值具有重要意义。 二、研究目的 本研究旨在通过磁控溅射制备氮化钛及其复合薄膜材料，并研究其耐腐蚀性能，为提高氮化钛薄膜的应用价值提供实验依据。 三、研究内容 1. 制备氮化钛薄膜及其复合薄膜材料 采用磁控溅射方法制备氮化钛薄膜及其复合薄膜材料，探究制备条件对氮化钛薄膜的影响。 2. 测定薄膜的基本物理性质 测定氮化钛薄膜及其复合薄膜的厚度、晶体结构、表面形貌等基本物理性质。 3. 研究薄膜的耐腐蚀性能 采用电化学测试方法测定氮化钛薄膜及其复合薄膜的耐腐蚀性能，探究不同制备条件对氮化钛薄膜耐腐蚀性的影响。 四、研究意义 本研究将对提高氮化钛薄膜的应用价值、促进其在防腐、耐磨等领域中的应用具有积极意义，同时对于磁控溅射技术的发展也具有一定的推广作用。