一种基于空间热流动态分析的MEMS器件温漂误差测试方法.pdfVIP

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2023-11-29 发布于四川
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一种基于空间热流动态分析的MEMS器件温漂误差测试方法.pdf

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一种基于空间热流动态分析的MEMS器件温漂误差测试方法，它属于新型传感器件领域。本发明解决了现有测试方法的精准性低、测试控制实时性差的问题。本发明方法为：首先将MEMS器件安装于密闭的高低温箱内部，再将温度传感器安装在MEMS器件表面；再根据设计的温度控制间隔和温度控制时间将高低温箱内部的环境温度从MEMS器件的最低工作温度调整至最高工作温度，且在高低温箱内的环境温度上升的过程中实时记录MEMS器件环境温度和MEMS器件输出数据；将记录的MEMS器件输出数据与MEMS器件输出参考值作差，得到ME

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117129028 A (43)申请公布日 2023.11.28 (21)申请号 202311104854.X (22)申请日 2023.08.30 (71)申请人哈尔滨工程大学地址 15000